Primjena infracrvenog mikroskopa u mikro uređajima u elektroničkoj industriji
1. Smjer primjene: uloga infracrvenog mikroskopa u temperaturnom ispitivanju sićušnih poluvodičkih uređaja
2. Uvod u pozadinu:
S razvojem nanotehnologije, njezina top-down metoda minijaturizacije sve se više primjenjuje u području tehnologije poluvodiča. Nekada smo IC tehnologiju nazivali tehnologijom "mikroelektronike", jer je veličina tranzistora na razini mikrona (10-6 metar). Međutim, tehnologija poluvodiča se vrlo brzo razvija. Svake dvije godine poboljšat će se generacija, a veličina će se smanjiti na polovicu izvorne veličine. Ovo je poznati Mooreov zakon. Prije otprilike 15 godina, poluvodiči su počeli ulaziti u submikronsku eru, koja je manja od mikronske ere, a zatim su otišli dublje u submikronsku eru, koja je bila puno manja od mikronske ere. Do 2001., tranzistori su bili čak manji od 0,1 mikrona, ili 100 nanometara. Dakle, era je nanoelektronike, a većina budućih IC-ova bit će izrađena od nanotehnologije.
3. Tehnički zahtjevi:
Trenutno je glavni način kvara elektroničkih uređaja toplinski kvar. Prema statistikama, 55 posto kvarova elektroničkih uređaja uzrokovano je temperaturom koja prelazi zadanu vrijednost. Kako temperatura raste, stopa kvarova elektroničkih uređaja raste eksponencijalno. Općenito govoreći, radna pouzdanost elektroničkih komponenti iznimno je osjetljiva na temperaturu, a pouzdanost će pasti za 5 posto svaki put kada se temperatura uređaja poveća za 1 stupanj na razini od 70-80 stupnjeva. Stoga je potrebno brzo i pouzdano detektirati temperaturu uređaja. Kako veličina poluvodičkih uređaja postaje sve manja i manja, postavljaju se sve veći zahtjevi za temperaturnu i prostornu rezoluciju opreme za detekciju.
4. Toplinska karta snimanja na licu mjesta
