Primjena infracrvenog mikroskopa u mikro uređajima u elektroničkoj industriji
Smjer primjene: funkcija infracrvenog mikroskopa u mjerenju temperature mikro poluvodičkih elemenata.
Drugo, pozadina:
S razvojem nanotehnologije, njezina minijaturizacija odozgo prema dolje sve se više primjenjuje u području tehnologije poluvodiča. Nekada smo IC tehnologiju nazivali tehnologijom "mikroelektronike", jer je veličina tranzistora na razini mikrona (10-6 metara). Međutim, poluvodička tehnologija se razvija vrlo brzo, te će svake dvije godine napredovati za jednu generaciju, a njezina veličina smanjit će se na polovicu izvorne veličine. Ovo je poznati Mooreov zakon. Prije 15-ak godina poluvodiči su počeli ulaziti u eru submikrona, odnosno manjeg od mikrona, a zatim je došlo do doba dubokog submikrona i puno manjeg od mikrona. Do 2001. veličina tranzistora bila je čak manja od 0,1 mikrona, odnosno manja od 100 nanometara. Dakle, ovo je doba nano-elektronike, a većina budućeg IC-a bit će napravljena od nano-tehnologije.
Treće, tehnički zahtjevi:
Trenutno je glavni oblik kvara elektroničkih uređaja toplinski kvar. Prema statistikama, 55 posto kvarova elektroničkih uređaja uzrokovano je temperaturom koja prelazi zadanu vrijednost. S porastom temperature, stopa kvarova elektroničkih uređaja raste eksponencijalno. Općenito govoreći, radna pouzdanost elektroničkih komponenti iznimno je osjetljiva na temperaturu, a pouzdanost će se smanjiti za 5 posto za svaki 1 stupanj porasta temperature uređaja na razini od 70-80 stupnjeva. Stoga je potrebno brzo i pouzdano detektirati temperaturu uređaja. Kako je veličina poluvodičkih uređaja sve manja i manja, postavljaju se sve veći zahtjevi za temperaturnu i prostornu rezoluciju opreme za detekciju.
Četvrto, snimite toplinsku kartu na licu mjesta (lokacija: model poznatog znanstveno-istraživačkog instituta: INNOMETE SI330)
