Primjena konfokalnih mikroskopa u industriji poluvodiča
U procesu -proizvodnje poluvodiča velikih razmjera, potrebno je položiti čipove integriranih krugova na pločicu, zatim ih podijeliti u različite jedinice i na kraju pakirati i lemiti. Stoga je precizna kontrola i mjerenje veličine utora za rezanje pločice ključna karika u procesu proizvodnje.
Konfokalni mikroskop mikroskopski je uređaj za detekciju koji je lansirao Zhongtu Instrument, široko se koristi u proizvodnji poluvodiča i procesima pakiranja. Može izvoditi be-kontaktno skeniranje i rekonstruirati tro-dimenzionalnu morfologiju površinskih značajki složenih oblika i strmih utora laserskog rezanja.
Konfokalni mikroskop ima izvrsnu optičku rezoluciju, a kroz sustav jasnog snimanja može detaljno promatrati karakteristike površine pločice, primjerice ima li nedostataka poput lomljenja rubova i ogrebotina na površini pločice. Električni toranj može se automatski prebacivati između različitih povećanja objektiva, a softver automatski hvata rubove značajki za brzo dvo-dimenzionalno mjerenje veličine, čime se učinkovitije otkriva i kontrolira kvaliteta površine ploče.
U procesu laserskog rezanja pločica, potrebno je precizno pozicioniranje kako bi se osiguralo da se utori mogu izrezati duž točne konture na pločici. Kvaliteta segmentacije pločice obično se mjeri dubinom i širinom reznih utora. Konfokalni mikroskop serije VT6000, temeljen na konfokalnoj tehnologiji i opremljen modulima za skeniranje velike-brzine, ima softver za profesionalnu analizu s funkcijama više područja i automatskog mjerenja. Može brzo rekonstruirati tro-dimenzionalnu konturu laserskog utora testirane pločice i izvršiti analizu više profila za dobivanje informacija o dubini i širini kanala poprečnog-presjeka.
