U usporedbi s tradicionalnim optičkim mikroskopima i elektronskim mikroskopima, koji čimbenici ograničavaju moć razlučivosti mikroskopa atomske sile?
Snaga razlučivosti tradicionalnih optičkih mikroskopa ograničena je granicom difrakcije svjetlosti, a njihova minimalna udaljenost razlučivosti je polovica valne duljine svjetlosti. Moć razlučivosti elektronskog mikroskopa također je ograničena difrakcijskom granicom, a njegova minimalna moć razlučivosti je polovica valne duljine elektrona de Broglie, tako da elektronski mikroskop može postići veću moć razlučivosti od tradicionalnog optičkog mikroskopa.
Moć razlučivosti mikroskopa atomske sile uglavnom ovisi o: veličini vrha sonde; koeficijent elastičnosti mikrokonzole, što je niži koeficijent elastičnosti, to je mikroskop atomske sile osjetljiviji; omjer duljine konzole i duljine laserskog svjetla; osjetljivost detektora PSD na položaj točke. Za sliku s određenom rezolucijom, što je manji raspon skeniranja, dobiva se finija topografija površine.
