Koliko nanometara može vidjeti konfokalni mikroskop?
Cilj znanosti o materijalima je proučavanje utjecaja površinske strukture materijala na njegova površinska svojstva. Stoga je analiza topografije površine pri visokoj razlučivosti važna za određivanje parametara koji se odnose na hrapavost površine, svojstva refleksije, tribološka svojstva i kvalitetu površine. Konfokalne tehnike sposobne su mjeriti materijale s različitim površinskim reflektivnim svojstvima i dobivati učinkovite mjerne podatke.
Laserski konfokalni mikroskop, temeljen na principu konfokalne tehnologije, je inspekcijski instrument za mikro i nano mjerenja na površinama raznih preciznih uređaja i materijala. Visoka razlučivost mjerenja doseže 0.5nm.
Prijave
1.MEMS
Mjerenje dimenzija mikronskih i submikronskih komponenti, promatranje morfologije površine nakon različitih procesa (razvijanje, jetkanje, metalizacija, CVD, PVD, CMP, itd.), analiza nedostataka.
2. Precizne mehaničke komponente, elektronički uređaji
Mjerenje dimenzija mikronskih i submikronskih komponenti, promatranje morfologije površine nakon različitih procesa površinske obrade, procesi lemljenja, analiza defekata, analiza čestica.
3.Poluvodič/LCD
Promatranje topografije površine nakon raznih procesa (razvijanje, jetkanje, metalizacija, CVD, PVD, CMP, itd.), analiza defekata Mjerenje širine beskontaktne linije, dubine koraka itd.
4. Tribologija, korozija i drugi površinski inženjering
Mjerenje volumena tragova abrazije, mjerenje hrapavosti, topografija površine, korozija i topografija površine nakon submikronskog površinskog inženjeringa.
Tehničke karakteristike
Model: VT6100
Raspon hoda: 100*100*100 mm
Raspon vidnog polja: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Ponovljivost mjerenja visine (1σ): 12nm
Točnost mjerenja visine: ± (0.2+L/100) μm
Rezolucija mjerenja visine: 0,5 nm
Ponovljivost mjerenja širine (1σ): 40nm
Točnost mjerenja širine: ± 2%
Rezolucija mjerenja širine: 1nm
