Koji je princip rada skenirajućeg elektronskog mikroskopa?
Zbog činjenice da se transmisijska elektronska mikroskopija koristi za TE snimanje, potrebno je osigurati da debljina uzorka bude unutar raspona veličine kroz koji može proći snop elektrona. Da bi se to postiglo, potrebne su različite glomazne metode pripreme uzoraka za transformaciju velikih uzoraka na razinu prihvatljivu za transmisijsku elektronsku mikroskopiju.
Cilj kojem teže znanstvenici je izravno korištenje svojstava materijala površinskih materijala uzorka za mikroskopsko snimanje.
Naporima je ova ideja postala stvarnost - skenirajući elektronski mikroskop (SEM).
SEM - Elektronski optički instrument koji skenira površinu promatranog uzorka vrlo tankim elektronskim snopom, prikuplja niz elektroničkih informacija generiranih interakcijom između elektronskog snopa i uzorka te slike nakon pretvorbe i pojačanja. To je koristan alat za proučavanje trodimenzionalnih površinskih struktura.
Njegov princip rada je:
U visokovakuumskoj cijevi leće, elektronski snop koji generira elektronski top fokusira se u fini snop pomoću leće za konvergenciju elektrona, a zatim skenira i bombardira površinu uzorka točku po točku kako bi generirao niz elektroničkih informacija (sekundarni elektroni, nazad elektroni refleksije, elektroni transmisije, elektroni apsorpcije itd.). Detektor prima različite elektroničke signale, pojačava ih pomoću elektroničkog pojačala, a zatim ih ubacuje u slikovnu cijev kojom upravlja mreža slikovne cijevi.
Prilikom skeniranja površine uzorka fokusiranim elektronskim snopom, zbog različitih fizikalnih i kemijskih svojstava, površinskog potencijala, elementarnog sastava i konkavno konveksne morfologije površine na različitim dijelovima uzorka, elektronička informacija pobuđena elektronskim snopom je različita, što rezultira stalnom promjenom intenziteta elektronskog snopa slikovne cijevi. Konačno, slika koja odgovara površinskoj strukturi uzorka može se dobiti na fluorescentnom ekranu slikovne cijevi. Prema različitim elektroničkim signalima koje prima detektor, mogu se dobiti slika povratno raspršenih elektrona, slika sekundarnih elektrona i slika apsorpcijskih elektrona uzorka.
Kao što je gore opisano, skenirajući elektronski mikroskop uglavnom ima sljedeće module: modul elektronskog optičkog sustava, visokonaponski modul, modul vakuumskog sustava, modul detekcije mikro signala, upravljački modul, upravljački modul mikro pomaka itd.
