Analiza pomoću optičke mikroskopije (OM)
Tehnički principi
Načelo snimanja optičkog mikroskopa je korištenje vidljive svjetlosti za osvjetljavanje površine ispitnog uzorka kako bi se izazvalo lokalno raspršenje ili refleksija za stvaranje različitih kontrasta. Međutim, budući da je valna duljina vidljive svjetlosti visoka kao {{0}} angstrema, rezolucija (ili stopa diskriminacije, energija rezolucije) sustava je Odnosi se na najkraću udaljenost na kojoj se mogu razlikovati dvije točke), to je prirodno najgore. Pod normalnim radom, budući da je stopa diskriminacije golim okom samo 0,2 mm, kada je optimalna rezolucija optičkog mikroskopa samo 0,2 um, teoretsko maksimalno povećanje je samo 1000. To je najveći sustav za slikanje, što pokazuje da promatranja optičkim mikroskopima zapravo još uvijek mogu pružiti mnogo preliminarnih strukturnih informacija.
Vrsta stroja
Analitičke primjene
Iako povećanje i razlučivost optičkih mikroskopa ne mogu zadovoljiti potrebe površinskog promatranja mnogih materijala, oni se još uvijek široko koriste u sljedećim primjenama, kao što su:
Promatranje strukture presjeka komponente;
Analiza i promatranje planarne odgođene strukture;
Promatranje zone bez oborina;
Promatranje lošeg poravnanja i prekomjernog nagrizanja (Overetch) udubljenja;
Istraživanje grešaka slaganja pojačanih oksidacijom (OSF), itd.
Koliko je najveće povećanje optičkog mikroskopa?
Povećanje optičkog mikroskopa uglavnom se oslanja na leću objektiva za stvarno povećanje objekta, a okular za sekundarno povećanje slike uvećane lećom objektiva. Leća objektiva optičkog mikroskopa može ići samo do 100 puta, a okular samo do 10 puta.
16 puta
Maksimalni okular je 20x. Stoga, kada je leća objektiva 100 puta, a okular 20 puta, ukupno povećanje može doseći 2000 puta. Ali 2000 puta je samo brojčano 2000 puta, a ne stvarno povećanje od 2000 puta. Na primjer, kada je okular 10x, leća objektiva je 100x, a ukupno povećanje je 1000x, jer je stvarna leća objektiva povećanja još uvijek 100x, ali se okular mijenja s 10x na 20x. Pogledano 2000 puta
1000 puta, razlika je dva puta, a zapravo je razlika samo 10 puta.
