Prednosti skenirajuće elektronske mikroskopije
1. Povećanje
Budući da je veličina fluorescentnog zaslona skenirajućeg elektronskog mikroskopa fiksna, promjena povećanja se ostvaruje promjenom amplitude skeniranja elektronskog snopa na površini uzorka.
Ako se struja zavojnice za skeniranje smanji, raspon skeniranja elektronskog snopa na uzorku će se smanjiti, a povećanje će se povećati. Prilagodba je vrlo praktična i može se kontinuirano podešavati od 20 puta do oko 200, 000 puta.
2. Razlučivost
Rezolucija je glavni indeks performansi SEM-a.
Razlučivost je određena promjerom upadne elektronske zrake i vrstom modulacijskog signala:
Što je manji promjer elektronske zrake, to je veća razlučivost.
Različiti fizički signali koji se koriste za snimanje imaju različite rezolucije.
Na primjer, SE i BE elektroni imaju različite domete emisije na površini uzorka, a njihova razlučivost je različita. Općenito, razlučivost SE je oko 5-10 nm, a BE oko 50-200 nm.
3. Dubina polja
Odnosi se na niz mogućnosti koje leća može istovremeno fokusirati i slikati na različitim dijelovima uzorka s neravninama.
Konačna leća skenirajućeg elektronskog mikroskopa ima mali kut otvora blende i veliku žarišnu duljinu, tako da se može postići velika dubina polja, koja je 100-500 puta veća od one kod općeg optičkog mikroskopa i 10 puta veća od onaj prijenosnog elektronskog mikroskopa.
Velika dubina polja, snažan trodimenzionalni osjećaj i realističan oblik izvanredne su značajke SEM-a.
Uzorci za SEM podijeljeni su u dvije kategorije:
1 je uzorak dobre vodljivosti, koji općenito može zadržati svoj izvorni oblik i može se promatrati u elektronskom mikroskopu bez ili s malim čišćenjem;
2. Nevodljive uzorke ili uzorke koji gube vodu, ispuštaju plin, skupljaju se i deformiraju u vakuumu, potrebno je pravilno obraditi prije nego što se mogu promatrati.
