Elektronski mikroskop ima nekoliko dijelova
Elektronski mikroskop sastoji se od tri dijela: cijevi leće, vakuumskog uređaja i ormarića za napajanje.
1. Cijev leće uglavnom uključuje izvore elektrona, elektronske leće, držače uzoraka, fluorescentne zaslone i detektore. Ove komponente su obično sastavljene u cilindar od vrha prema dolje.
Elektronska leća se koristi za fokusiranje elektrona i najvažnija je komponenta u cijevi elektronskog mikroskopa. Općenito se koriste magnetske leće, a ponekad se koriste i elektrostatičke leće.
2. Vakuum uređaj služi za osiguranje stanja vakuuma u mikroskopu, tako da se elektroni ne apsorbiraju ili skreću na svom putu. Sastoji se od mehaničke vakuumske pumpe, difuzijske pumpe i vakuumskog ventila, a povezan je s cijevi objektiva kroz ispušnu cijev.
3. Energetski ormarić sastoji se od visokonaponskog generatora, stabilizatora struje uzbude i raznih regulacijskih jedinica.
